半導(dǎo)體精細(xì)線路檢測

標(biāo)準(zhǔn)2.5μm高解析度對圖像進(jìn)行精密檢測，可選配更高解析精度

采用2500萬像素工業(yè)相機(jī)，同時有3100萬像素，6500萬像素，1.5億像素可選

可檢測LTCC、鐵氧體、高頻疊片式陶瓷電感，晶圓類，SIP封裝類等半導(dǎo)體材料外觀檢測

視覺檢測系統(tǒng)支持離線編程，在線調(diào)試，AI智能復(fù)判

NG/OK自動分揀，全自動鐳射剔廢

大理石龍門架構(gòu)設(shè)計，配置高精度直線電機(jī)模組，保證X,Y軸的運行精度，最高精度±1μm

2500萬像素工業(yè)相機(jī)，高分辨率遠(yuǎn)心鏡頭，0.2~2.5μm/pixel高解析度可選

單張料片檢測CT＜30秒@200*200mm，CCD高度可自動調(diào)整范圍±5mm

可檢測有效面積50*50~400*300mm，并輸出OK，NG，TBC（超出設(shè)定的不良數(shù)量一定比例值為待確認(rèn)區(qū)，該產(chǎn)品將由機(jī)械手將其抓取并放置到鐳切模組執(zhí)行鐳切）

可檢測各類外觀缺陷如斷線、毛刺、針孔、異物、缺口、長度、寬度、面積、異形等

自主知識產(chǎn)權(quán)的光學(xué)檢測軟件系統(tǒng)，基于矢量分析算法規(guī)則，融合邏輯或運算，亮度極差，亮度變化最小跨度，AI深度學(xué)習(xí)等三十多種先進(jìn)檢測算法，應(yīng)對各種復(fù)雜線路以及半導(dǎo)體零件檢測

支持SPC統(tǒng)計分析功能，支持各種生產(chǎn)智能執(zhí)行系統(tǒng)SFC / MES對接

支持AI智能復(fù)判功能

支持離線編程&在線不停機(jī)調(diào)試功能

圖像識別系統(tǒng)檢測完成的產(chǎn)品自動執(zhí)行判斷：

測試無缺陷的產(chǎn)品由下料模組自動將產(chǎn)品抓取到OK料盒

測試超出缺陷數(shù)量或者一定百分比的產(chǎn)品由下料模組自動將產(chǎn)品抓取到NG料盒

測試缺陷數(shù)量或者百分比在可控范圍內(nèi)的由下料模組自動將產(chǎn)品抓取到鐳切區(qū)域，執(zhí)行自動鐳切

晶圓

SIP封裝

0755-61519009/29545697

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